設為首頁 設為首頁 加入收藏 加入收藏 網站地圖
[請登陸][免費注冊]
搜 索

您的位置 :首頁 技術 設備材料
設備材料
Rudolph缺陷檢測技術提高后道半導體制造良率
出自:大半導體產業網

在半導體制程中,檢測環節是提高產線良率,提高產品競爭力的關鍵,貫穿于生產制造流程始終,隨著半導體制程發展越來越復雜、精密,新型檢測技術AOI(Automatic Optic Inspection)自動光學檢測具有更高的穩定性、可重復性和更高的精準度,可以大大提高生產效率和生產的自動化程度。



AOI是基于光學原理對生產中遇到的常見缺陷進行檢測的設備,是視覺檢測中一個相對標準化的分支,Rudolph Technologies全球產品協理蔡孟樵表示,AOI檢測缺陷已經由原來的2D技術轉向2D與3D整合檢驗技術發展,一旦半導體保護層、光阻材料等沒有處理潔凈造成厚度不均,都有可能造成最終的良率損失,所以,利用3D光學檢測技術不僅能夠檢測缺陷還能夠測量組件尺寸,這是半導體制程中重要的一環,Rudolph Clearfind專利技術能夠利用熒光有機材料,通過鐳射熒光效應暴露出傳統2D技術看不見的透明缺陷。



晶圓是集成電路中的關鍵部分,會積累在生長、切割、研磨、蝕刻、拋光過程中的殘余應力,在整個制造過程中可能會從邊緣產生裂痕延至中間,然而晶圓表面沒有任何變化,表面監測發現不了這樣的問題。蔡孟樵向大半導體產業網舉例說道,利用特殊的光學監測,讓光源穿過芯片表面可以看到晶圓內部的真實狀態,這樣的技術在車用、人工智能、服務器等市場需求旺盛,因為這些應用對于芯片的運作要求嚴苛,通常要求在高溫、高壓或是低溫的環境中運作。除了光學檢測、2D、3D檢測技術外,蔡孟樵強調先進封裝檢測系統還需要結合其他不同的技術,Dragonfly G2結合了紅外線檢測設備曝光特殊缺陷,在市場中很受歡迎。

據大半導體產業網了解,目前,Rudolph針對半導體制程后道切入進曝光機設備市場中,StepFAST具備了為客戶提供整體解決方案的能力。為提高預封裝測試質量,晶圓先進入AOI系統(Firefly)做量測,依據量測結果補償曝光參數以增進overlay良率,StepFAST?解決方案憑借前饋自適應拍攝技術,解決了工藝變化、芯片放置誤差和尺寸不穩定材料等問題,值得一提的是,此設備具有市面上最大的FoV(Field of View)曝光范圍,避免了曝光交錯點可能造成的品質下降。



在競爭激烈的半導體市場中,不開放合作是不可能的,蔡孟樵表示在封裝測試平臺中保持某種程度上的開發,減少客戶的使用限制非常關鍵。Rudolph設計的模塊化結構可配置性高,允許兼容的技術做到即插即用,Dragonfly G2系統精簡的軟件算法有助于達到更快的吞吐量,這在先進封裝工藝迅速發展的趨勢下優勢明顯。隨著封裝規模越來越大,每塊晶圓上的bump數量也越來越多,吞吐量增加降低成本的同時還使系統能夠處理不斷增加的bump數,Dragonfly G2系統搭載3D傳感器還可以測量bump的高度與直徑,并且做到業界最快。

為了確保生產的品質,蔡孟樵向大半導體產業網表示目前Rudolph不管是在設計端、生產端、制造端,都在美國進行,不過Rudolph看到了中國強大的研發能力在中國地區設立了軟件研發團隊。

蔡孟樵透露,受惠于存儲市場的快速成長,去年Rudolph在存儲市場的營收增長了兩倍,中國市場在前道制程的崛起也帶動了Rudolph的營收增長,2018在中國的營收比起2017成長了76%,并且預估在未來的幾年都會持續成長。

業績成長的背后,一個很重要的原因就是在客戶端的支持。Rudolph深耕行業的經驗大致將客戶支持分為三個層面,讓客戶在各種情況下都能得到快速的回應。Rudolph根據客戶的分布地點設置服務據點,原則上能夠在24小時內達到客戶端現場解決問題,由于機臺所含技術成分很高,機臺出現的問題又可分為一般工程師能夠解決和資深工程師才能解決,所以在第二層面Rudolph應用電話支持的方式,在亞洲區建立了多處建制服務全球,利用全球積累的解決問題的經驗有效調取不同地區的資源來服務客戶,第三個層面是回歸到美國總部,一旦機臺牽扯到核心的技術問題,就要請專家抵達現場檢查處理,不過依照蔡孟樵以往的工作經驗,他表示前兩個階段就能解決產線80%的問題。值得一提的是,Rudolph特別在亞洲地區投入了大量的資源,因為相比于歐洲穩定的半導體市場規格,亞洲市場半導體規格變化性更大,會帶來新的制程與挑戰。

在未來的研發方向上,Rudolph以市場分析與客戶需求兩方面作為考量,不僅要與客戶保持合作,更要與客戶的客戶保持緊密交流,在產業鏈的每個節點上做充分了解,提前規劃機臺的研發。“與客戶們共同合作開發技術非常重要,特別是在技術的發展方向上,Rudolph每1-2個月都會與客戶深度交流技術的走向,這是在多變的半導體市場中一定要做的事情。”蔡孟樵這樣說道。
?

 

 

0
文章收入時間: 2019-04-16
 
SEMI簡介 | About SEMI | 聯系我們 | Privacy Policy | semi.org
Copyright © 2018 SEMI®. All rights reserved.
滬ICP備06022522號
滬公網安備31011502000679號
福彩3d下期的预测号码