設為首頁 設為首頁 加入收藏 加入收藏 網站地圖
[請登陸][免費注冊]
搜 索

您的位置 :首頁  新聞半導體
SEMI China Fab Acceleration Program會議聚焦EHS和Facility
出自:大半導體產業網

6月18日,SEMI China Fab Acceleration Program會議在上海國際會議中心圓滿舉行。包括TSMC、SMIC、士蘭微、華潤微電子、長鑫存儲、晶合集成、華虹宏力、華力微電子、上海先進/積塔、Intel(大連)等在內的10多家Fab廠以及TEL、頗爾(中國)、生特瑞、格林曼環境、上海新昇半導體、正帆科技、十一科技等公司代表出席了此次會議。


SEMI全球副總裁,中國區總裁居龍先生致歡迎詞。他熱烈歡迎大家的到來,今天會講到環保、標準、水污染等話題,希望大家暢所欲言,互相分享經驗。他介紹到,2018年FOA(Fab Owners Alliance)加入SEMI大家庭。聯盟成員定期會面討論和處理常見的制造問題,將優勢和資源結合起來,通過設備制造商和解決方案供應商的協作平臺,為工廠管理和運營提供價值,以保持和提高其全球競爭力。 SEMI起源于標準,今年我們即將發布第1000個標準,明年也是SEMI 50周年慶,SEMI和產業共成長,SEMI China也是致力于中國半導體產業的發展,幫助實現中國半導體夢的最佳合作伙伴。
?


TEL開發戰略部專家 Supika Mashiro介紹了SEMI EHS產業倡導以及SEMI的信息渠道。SEMI S-Documents(安全導則/標準),對微電子產業供應鏈相關的半導體產業發展非常有益。SEMI的安全標準非常適用于半導體制造設備。SEMI安全標準始于上個世紀90年代,在此之前,行業沒有統一的標準。1991年,S2原始版本誕生,目前最新的版本是S2-0818。
?


TSMC China的EHS經理高志宇先生帶來了《半導體業環保安全衛生業務-水資源回收經驗分享》的演講。他提到水資源在未來會是越來越熱門的話題,同時也分享了怎樣做到水資源回收再利用最大化,包括水資源風險管理,水情應變措施,廢水監控和處理流程,強化有效分流的源頭管理,積極推動回收水再利用,在TSMC,透過循環再利用的程序,達到一滴水進入臺積公司平均可使用3.5次再利用的成果。



頗爾(中國)副總裁黃丕成博士帶來了《半導體芯片廠污染的控制及預防》的演講,他主要分享了納米顆粒和重金屬的污染問題以及如何防治。他介紹到,對于14納米技術而言,一顆納米級的顆粒就可以破壞一塊CPU,據統計,一半以上的成品率問題和顆粒有關。
半導體晶圓制作方面的工藝缺陷,如光刻、蝕刻、CMP。不是所有的晶圓都是工作的,缺陷是造成低良率的主要原因之一,晶圓的性能和成品率是決定工藝的成熟及盈利的關鍵指標。建立適當的工藝缺陷指標(SPEC)是保證良率的第一步,同時還需要了解缺陷的來源即形成,控制進料質量及嚴格遵守工藝參數,選擇合適有效的消除防范技術(如過濾)。
?


生特瑞公司的設計總監劉新慶先生帶來了《What Can We Do for an Environmental FAB》的演講,對于具有資金密集型,技術密集型和政策驅動性特點的半導體(FAB)建設項目,必須加快項目的設計和建設周期,因此,快速、準確地確定環境方面的設計指標,可以減少項目建造工程中的風險和損失。本次演講以廢水、廢氣中污染物濃度排放指標的最終確立為例,分享了這些排放指標在項目前期有不確定性、專家確定指標的依據、緣由,而最終卻得到了一個不同于預期、不得不改造的結果;同時,也分享了相對嚴苛條件下的廢水、廢氣處理的一些前沿技術處理方法。最后,提出了前期設計的時候要做好詳盡的調查,尤其是要閱讀工業園區的環評報告、調查周圍類似工廠,與環保局工程師、環評單位的溝通,最終預判設計條件,做到快速決策、減少錯誤或風險,加快推進項目的進程。
?


格林曼環境國際業務總監Johnny Browaeys帶來了《Business and Supply Chain Resilience in China’s New Era: New Challenges and New Tools》的演講。Johnny介紹到,中國五年計劃中把環境保護作為戰略重點。周圍環境(如附近的工廠、環境基礎設施、敏感區域等)和政策(環境規劃、產業轉型、產業能力規劃和城市規劃)都是企業風險管理要考慮的問題,
他例舉了具體省份對于環境規劃的策略,比如“認識整頓和升級化工產業的重要性”、“對不符合安全生產標準、不符合環境標準的企業、園區必須關閉,淘汰低端企業。” 同時也和大家分享了目前一些危化企業遭懲戒的情況,突出了環境問題的重要性。

SEMI China Fab Acceleration Program定期會議,促進Fab廠交流,結合優勢資源,為工廠管理和運營提供價值,以保持和提高其全球競爭力。
?

 

 

0
文章收入時間: 2019-06-19
 
SEMI簡介 | About SEMI | 聯系我們 | Privacy Policy | semi.org
Copyright © 2018 SEMI®. All rights reserved.
滬ICP備06022522號
滬公網安備31011502000679號
福彩3d下期的预测号码